什(shén)麽是真空環境?
真空環境已經除去了(le)所有的(de)空氣和(hé)氣體。通(tōng)常,它包含在腔室中并通(tōng)過泵完成。如果你在抽真空時(shí)進入一個(gè)房(fáng)間,就必須穿著(zhe)一套提供氧氣呼吸的(de)套裝,就像太空中的(de)宇航員(yuán)一樣(太空是一個(gè)巨大(dà)的(de)真空)。某些應用(yòng)程序在真空中完成的(de)原因是它是最幹淨的(de)環境。當所有空氣,氣體和(hé)顆粒被抽出真空室時(shí),它就變得(de)無污染。這(zhè)對(duì)于需要絕對(duì)清潔的(de)應用(yòng)至關重要,例如半導體制造。
消除空氣和(hé)氣體是無污染良好的(de)開端,但在完成應用(yòng)時(shí),真空室不會沒有元件。因此,應确保腔室内的(de)任何物(wù)質都不會造成污染。這(zhè)在構建腔室中使用(yòng)的(de)儀器的(de)組件時(shí)開始,包括模組機械。模組機械産品可(kě)按真空規格制造。盡管由于一般的(de)磨損,移動部件最終可(kě)能會随著(zhe)時(shí)間的(de)推移而顆粒化(huà),但如果考慮到顆粒形成的(de)位置和(hé)制造時(shí)的(de)多(duō)少,模組機械仍然可(kě)以在真空中使用(yòng)。此外,如果按照(zhào)建議(yì)進行适當的(de)預防性維護,污染的(de)可(kě)能性将會降低。
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